1장 장비 상태 확인 ( Check the system )
2장 시료 준비 ( Sample Preparation )
3장 시료 장착 Ⅰ ( On specimen stub )
4장 Vent
5장 시료 장착 Ⅱ ( On specimen holder )
6장 시료 장착 Ⅲ ( Closing door )
7장 펌프 시작 ( Pumping start )
8장 펌핑 완료 ( Pumping )
9장 현미경 사용 가능 완료 상태
sem 사용을 위한 기본 manual
1.장비 상태 확인 ( check the system )
설명 : 장비를 쓰기 전 그 전 사용자가 올바르게 장비를 사용하고 갔는지 확인을 해야 한다.
tip : 위의 항목 중 하나라도 만족하지 못한다고 해서 당장 장비가 고장 나지는
않는다.하지만, 유지/보수 관점에서 위의 항목은 장비를 사용하기 전 확인해야 할 최소
한의 항목이라는 것을 밝혀둔다.
2.시료 준비 ( sample preparation )
설명 : 먼저 image를 찍기 위해 시료를 준비해 온다.비전도성 시료일 때는 coating을 해야 하며,
전도성 시료일 때는 그대로 보면 된다.
주의 사항 : 시료 준비 상태가 좋지 않을 때는 이미지에 영향을 주는 것은 물론 장비가
고장인 것처럼 보일 수도 있으니, 시료 준비를 잘해야 한다.
3.시료 장착 Ⅰ ( on specimen stub )
설명 : 시료를 장착하는 동안은 항상 장갑을 착용하여야 하고, 전용 핀셋을 준비해 한다.
이 과정은 시료를 stub위에 붙이는 단계로서, 붙이는 방법은 carbon tape나,
silver paste을 주로 사용한다.
역할 : 시료의 전자가 원활히 빠져나가게 하며, 시료를 고정시키는 시킨다.
주의 사항 : carbon tape을 많이사용하는 곳에서 가끔 일어나는
문제는 carbon tape을 쓰고 나서 나오는 종이 쓰레기를 정리하지 않아서
그 종이 쓰레기가 stage에 끼어 버리는 사고가 가끔 발생한다.따라서 carbon
tape을 쓰고 나서 나오는 종이 쓰레기는 날리지 않게 조심해야 한다.
4.vent
설명 : vent 버튼을 눌러 진공을 푼다.
정상적으로 vent가 시작되면, vent 버튼에
노란색 불이 들어 온다.
tip : 일반적으로 vent는 약 1분에서 1분 30초 정도가 걸리는데, ( 물론 이 시간은 각 장비마다
다 다르고, 여러가지 조건에 의해서 변한다 ) 이 시간이 지나면, 챔버문을 살짝 당겨본다.
살짝 당겼을 때 문이 쉽게 열리면 vent가 다 된 것이고 봐도무방하다.하지만, 억지로 힘을
주어서 챔버문을 열려고 하면, 자칫 eds window가 나갈 수 있으니, 챔버문이 열리지 않을 때는
vent 버튼을 다시 눌러주거나, 더 기다렸다가 챔버문 열기를 시도해 본다. (이하 생략)
