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1Àå 4M 构à÷é©áÈ
2Àå 3ïÒ 5S
3Àå 静电îÜ概Ò·
4Àå 4M 构à÷é©áÈ
5Àå 静电îÜ概Ò·
6Àå ð¤电装备îÜ构ðãÐàéÄÔ²
7Àå 洁净ãøîÜïÒ义
8Àå 进õóìýãø(Entry)/(Out) Procedure
9Àå ÍìÔÒñ¼ëòÞÀ项
10Àå 洁净ãø内ô¾ó·ÛÁ静电Ü×装时ñ¼ëòÞÀ项
11Àå 洁净ãø内ô¾ó·ÛÁ静电Ü×装时ñ¼ëòÞÀ项
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静电发ßæê«ì×
1) ïÈ触 : 两&
#20010;ÜôÔÒîÜÚª体ïÈ触ûäÝÂ离时电ùÃ从ÍÔ电êÈîÜÚª体×µ动Óðî¸电êÈîÜÚª体 过ïïñé产ßæ
2) ؤóÍ : ì×两个
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(Suit Ü×#
013;类Ôõ)
3) 剥离 : ßÓû»
紧贴îÜÚª体ÝÂ离时产ßæ
4) ×µ动 : äû体
î¤ìéïÒîÜηԳ×ì×µ动îÜ时产ß棨äû体ûúηÛú间产ß棩
静
0005;产ßæîÜñ«é©ì×áÈãÀäû体îÜáÜÓø¡¢÷î动¡¢ì¤ÐàηԳîÜî§质
5) ûèùê搅Úå : äû߮
7;间ûääû体跟ͳ体û»ßÓ搅Úå时产ß棬搅Úåäû体ûúé»积ηÐà搅ÚåÐïûäíºÜôéÁú°îÜ
气øÜÔõì×áÈ
ì»产ßæ
6) 喷õó : î¤ìéïÒîÜÕ
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