¾ÅÅ©Á¸

ÃֽŠUPDATE

À̷¼­2024. 10. 10ÇØ´çÀÚ·á Àüü 629°ÇÀÇ ÀÚ·á

À̷¼­¾ç½Ä
ÀÚ¼¼È÷ º¸±â

ÇѱÛ(hwp)À̷¼­¾ç½Ä

À̷¼­ ±âº» ¾ç½Ä ÀÔ´Ï´Ù.

ÀÚ±â¼Ò°³¼­ > À̷¼­2024.05.132 page700¿øµî·ÏÀÚ yu**

ű×À̷¼­¾ç½Ä, ÀÌ·Â, ¼­¾ç½Ä

ÀÔ»çÁö¿ø¼­
ÀÚ¼¼È÷ º¸±â

ÇѱÛ(hwp)ÀÔ»çÁö¿ø¼­

ÀÔ»çÁö¿ø¼­ (À̷¼­) ±âº» ¾ç½Ä ÀÔ´Ï´Ù.

ÀÚ±â¼Ò°³¼­ > À̷¼­2024.05.133 page800¿øµî·ÏÀÚ yu**

ű×ÀÔ»çÁö¿ø¼­, ÀÔ»ç, Áö¿ø¼­

Á¾ÇÕº´¿øÀ̷¼­
ÀÚ¼¼È÷ º¸±â

ÇѱÛ(hwp)Á¾ÇÕº´¿øÀ̷¼­

Á¾ÇÕº´¿ø À̷¼­ ÀÔ´Ï´Ù.

ÀÚ±â¼Ò°³¼­ > À̷¼­2024.05.091 page1,500¿øµî·ÏÀÚ ln***

ű×Á¾ÇÕº´¿øÀ̷¼­, Á¾ÇÕ, º´¿ø, À̷¼­

Á¾ÇÕº´¿øÀ̷¼­
ÀÚ¼¼È÷ º¸±â

Microsoft Word (doc)Á¾ÇÕº´¿øÀ̷¼­

Á¾ÇÕº´¿ø À̷¼­ ÀÔ´Ï´Ù.

ÀÚ±â¼Ò°³¼­ > À̷¼­2024.05.091 page1,500¿øµî·ÏÀÚ ln***

ű×Á¾ÇÕº´¿øÀ̷¼­, Á¾ÇÕ, º´¿ø, À̷¼­

Á¾ÇÕº´¿øÀ̷¼­
ÀÚ¼¼È÷ º¸±â

ÇѱÛ(hwp)Á¾ÇÕº´¿øÀ̷¼­

Á¾ÇÕº´¿ø À̷¼­ ÀÔ´Ï´Ù.

ÀÚ±â¼Ò°³¼­ > À̷¼­2024.05.092 page1,500¿øµî·ÏÀÚ ln***

ű×Á¾ÇÕº´¿øÀ̷¼­, Á¾ÇÕ, º´¿ø, À̷¼­

Á¾ÇÕº´¿øÀ̷¼­
ÀÚ¼¼È÷ º¸±â

ÇѱÛ(hwp)Á¾ÇÕº´¿øÀ̷¼­

Á¾ÇÕº´¿ø¿ë À̷¼­ ÀÔ´Ï´Ù.

ÀÚ±â¼Ò°³¼­ > À̷¼­2024.05.091 page1,500¿øµî·ÏÀÚ ln***

ű×Á¾ÇÕº´¿øÀ̷¼­, Á¾ÇÕ, º´¿ø, À̷¼­

2023³âµµ ÇϹݱâ ä¿ë ÃÖÁ¾ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­ + À̷¼­ [DSºÎ¹® Foundry »ç¾÷ºÎ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¼³°è]
ÀÚ¼¼È÷ º¸±â

ÆÄÀÏ ´Ù¿î·Îµå2023³âµµ ÇϹݱâ ä¿ë ÃÖÁ¾ÇÕ°Ý ÀÚ±â¼Ò°³¼­ + À̷¼­ [DSºÎ¹® Foundry »ç¾÷ºÎ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¼³°è]

[ÃÖÁ¾ ¸®Çã¼³, G-SURF]GIST ÇÏ°è ÀÎÅϽʿ¡¼­ °øÁ¤ º¯¼ö¸¦ Á¶ÀýÇÏ¸ç ½ÇÇèÀ» ÁøÇàÇÏ°í ÃøÁ¤ Àåºñ·Î µ¥ÀÌÅ͸¦ ºÐ¼®ÇØ ¿¬±¸½ÇÀÇ °øÁ¤ ÃÖÀûÈ­¿¡ ±â¿©Çß½À´Ï´Ù.Photolitho¸¦ ÁøÇàÇÏ¸ç ³ë±¤ ÈÄ ½Ã°£À» ´Þ¸®ÇÏ¿© Çö»óÇÏ°í OMÀ¸·Î ¸¶½ºÅ© ÆÐÅÏ°ú ºñ±³ÇØ ÃÖÀûÀÇ Çö»ó ½Ã°£À» µµÃâÇß½À´Ï´Ù. Á÷ÈÄ ½ºÆÛÅ͸µÀ¸·Î CrÀ» ÁõÂøÇÏ°í Lift-off ÇÑ µÚ RIE Çß½À´Ï´Ù. ±×·¯³ª Ãʱâ Á¶°Ç¿¡¼­ ½Ä°¢·üÀÌ 0.348nm/s·Î ¸Å¿ì ³·¾Æ °øÁ¤ ½Ã°£ÀÌ ±æ´Ù´Â ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇß½À´Ï´Ù. Àü·ÂÀ» ³ô¿© ÇöóÁ¸¦ ´õ¿í È°¼ºÈ­ÇØ ½Ä°¢·üÀ» ³ô¿´Áö¸¸, ÇÁ·ÎÆÄÀÏÀ» ¸ð´ÏÅ͸µÇßÀ» ¶§ ¼±Åúñ°¡ 2.7·Î ³·¾ÆÁö´Â ¶Ç ´Ù¸¥ ³­°üÀÌ »ý°å½À´Ï´Ù. CF4 °¡½º ¾çÀ» Á¶ÀýÇØ ÀÌ¿Â ¹Ðµµ¸¦ ³ô¿©ºÃÁö¸¸, Si¿¡ ´ëÇÑ ½Ä°¢·ü»Ó ¾Æ´Ï¶ó CrÀÇ ½Ä°¢·ü ¿ª½Ã Áõ°¡Çß

ÀÚ±â¼Ò°³¼­ > À̷¼­2024.05.056 page2,500¿øµî·ÏÀÚ tk***

ű×ÇϹݱâ, ä¿ë, ÃÖÁ¾ÇÕ°Ý, ÃÖÁ¾, ÇÕ°Ý, ÀÚ±â¼Ò°³¼­, ÀÚ±â, ¼Ò°³¼­, À̷¼­, DSºÎ¹®

³í¹®/¸®Æ÷Æ® 1À§ 2018³â ¿¬°£¼øÀ§
°øÀ¯¼­¿ï
º¸¾È»çÀÌÆ® ÀÎÁõ
¼­½ÄÁ¦°ø ÆÄÆ®³Ê
³×À̹ö
Çѱ۰úÄÄÇ»ÅÍ
¸¶ÀÌÅ©·Î¼ÒÇÁÆ®