u-Healthcare 서비스 환경에서의 통합의료정보시스템 연구

김수균, 박길하, 정진영, 신진섭, 김석훈 | 한국컴퓨터정보학회 2013도 제47차 동계학술대회 논문집 21권1호 (v.2013 / no.1 / pp.299-300 / 2013)

의료시장의 무한경쟁과 의료 경영환경을 극복하기 위한 최선의 방안은 병원 업무의 전산화를 통한 시스템 간의 효율적인 정보교환의 필요성이 대두되고 있다. 또한, 처방전달시스템, 전자의무기록시스템, 검사정보시스템, 의료영상 저장 및 전송시스템 등의 이기종간 의료정보 시스템의 통합 시스템을 구축하여 진료환경을

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의료시장의 무한경쟁과 의료 경영환경을 극복하기 위한 최선의 방안은 병원 업무의 전산화를 통한 시스템 간의 효율적인 정보교환의 필요성이 대두되고 있다. 또한, 처방전달시스템, 전자의무기록시스템, 검사정보시스템, 의료영상 저장 및 전송시스템 등의 이기종간 의료정보 시스템의 통합 시스템을 구축하여 진료환경을 구축하고 진료의 효율성을 개선해야 할 것이다. 본 논문에서는 업무 시스템 간에 상호 연계가 보장된 표준정보연계체계 구축 및 최적화된 응용시스템 구축으로 환자 서비스 개선과 진료 및 경영 효율을 증대시킨 통합의료정보시스템의 구축방안에 대하여 연구하였다.

선박의 Risk Assessment (위험성 평가) 시행에 대한 실무지침 연구 개발

오희석, 박종철 | 한국항해항만학회 2013년도 춘계학술대회 (v.2013 / no.6 / pp.441-442 / 2013)

ISM Code 1.2.2.2항 개정안 발효됨에 따라 선박에서 실질적으로 위험성평가 (Risk Assessment) 시행을 요구하고 있다. 하지만 해운업계 및 선원들은 관련 지식 및 경험 부족으로 시행에 여러움을 겪고 있다. 이 연구에서는 선상에서 효과적인 이행을 위해 표준 위험성평가 지침을 개발하였다.

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ISM Code 1.2.2.2항 개정안 발효됨에 따라 선박에서 실질적으로 위험성평가 (Risk Assessment) 시행을 요구하고 있다. 하지만 해운업계 및 선원들은 관련 지식 및 경험 부족으로 시행에 여러움을 겪고 있다. 이 연구에서는 선상에서 효과적인 이행을 위해 표준 위험성평가 지침을 개발하였다.

장애인 화재 대응 기본 방향 설정에 관한 연구 - 영국, 미국, 한국 시설 대응 매뉴얼 사례 분석을 중심으로 -

유용흠, 김진욱 | 한국방재학회 2014년도 정기 학술발표대회 (v.2014 / no.2 / pp.217-217 / 2014)

최근 들어 국가적으로 복지에 대한 관심이 늘어나고 있으며 정책의 주요 이슈로 떠오르고 있다. 복지의 대상이 되는 계층으로는 아동, 다문화, 노인, 장애인 등과 같은 사회적 약자가 주 대상으로 이들은 재난상황에서 또한 일반인들에 비해 취약하다. 특히 인적 재해 중 하나인 화재의 경우 우리 주변에서 수시로

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최근 들어 국가적으로 복지에 대한 관심이 늘어나고 있으며 정책의 주요 이슈로 떠오르고 있다. 복지의 대상이 되는 계층으로는 아동, 다문화, 노인, 장애인 등과 같은 사회적 약자가 주 대상으로 이들은 재난상황에서 또한 일반인들에 비해 취약하다. 특히 인적 재해 중 하나인 화재의 경우 우리 주변에서 수시로 일어날 수 있어 그 어떤 재해 보다 위험 하다 할 수 있으며, 이러한 화재의 발생시 장애인의 경우 일반인에 비해 대응이 힘들다. 이에 본 연구에서는 선진국인 영국, 미국의 화재에 따른 장애인 시설 대응 매뉴얼 사례와 국내 장애인 시설 대응 매뉴얼 분석을 통하여 그 특징과 고찰점 등을 도출하는데 목적이 있다.

평균 명암 측정을 통한 엘리베이터 내의 흡연 추출

신성윤, 김희애, 장대현, 이현창, 이양원 | 한국컴퓨터정보학회 2013년도 제48차 하계학술발표논문집 21권2호 (v.2013 / no.7 / pp.111-113 / 2013)

엘리베이터 내부에서는 흡연이나 음주 등 사회적으로 폐가되는 행동은 금지되어 있다. 승강기 내에서 흡연을 하는 것은 상도덕에 어긋나는 일이며 자라는 우리 아이들과 여성들에게 매우 치명적일 수 있다. 본 논문에서는 승강기 내에서 흡연을 하는 사람을 추출하여 포렌식 증거 자료로 제출하기 위해서이다. 방법은 흰

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엘리베이터 내부에서는 흡연이나 음주 등 사회적으로 폐가되는 행동은 금지되어 있다. 승강기 내에서 흡연을 하는 것은 상도덕에 어긋나는 일이며 자라는 우리 아이들과 여성들에게 매우 치명적일 수 있다. 본 논문에서는 승강기 내에서 흡연을 하는 사람을 추출하여 포렌식 증거 자료로 제출하기 위해서이다. 방법은 흰색 막대를 입에 물거나, 연기를 내품는 사람을 추출하는 것이다. 방법은 장면 전환 검출에서 평균 명암 측정 방법으로 추출한다.

일본 방재교통체계와 한국의 방재도로 구축방안

이준 | 한국방재학회 2014년도 정기 학술발표대회 (v.2014 / no.2 / pp.10-10 / 2014)

빈번한 재난이 발생하는 일본은 다양한 방법의 대응계획을 세우기 위한 노력을 하고 있다. 2011년 3월 11일 발생한 동일본 대지진 이후의 일본정부의 대응전략을 살펴보면 재해대책기본법에 따라 방재도로 선정기준을 개선하였다. 일본의 방재도로는 크게 두 가지로 '긴급교통로'와 '긴급수송로'로 분리하여 운영되

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빈번한 재난이 발생하는 일본은 다양한 방법의 대응계획을 세우기 위한 노력을 하고 있다. 2011년 3월 11일 발생한 동일본 대지진 이후의 일본정부의 대응전략을 살펴보면 재해대책기본법에 따라 방재도로 선정기준을 개선하였다. 일본의 방재도로는 크게 두 가지로 '긴급교통로'와 '긴급수송로'로 분리하여 운영되고 있다. '긴급교통로'는 이재민의 피난 및 구출 구조 및 소화활동 등 재해 직 후의 단기적 목적으로 사용되는 긴급차량(군부대, 소방, 경찰) 및 이 활동을 지원하는 차량(복구작업차량)을 위한 교통 네트워크이다. 반면에 '긴급수송로'는 재해 발생 시 이재민의 피난 및 이재민의 생활안전을 위한 물자수송계획에 초점을 두고 있으며 비교적 장기적인 복구와 부흥에 초점을 두고 있다. 특히, '긴급수송로'는 지역내부는 공안위원회(해당 지자체)가, 지역간은 중앙방재위원회(중앙정부)가 지정하며, 미시적, 거시적 관점에서 접근하게 된다. 이원화 운영되는 방재교통계획은 긴급상황 발생 직 후의 피난과 구조상황과 재해복구를 위한 기능을 분리한 것이며, 그 목적에 따라 정보수집의 우선순위와 복구우선순위를 갖게 된다. 세계적으로 재난의 거대화가 진행되고, 임의의 재난이 발생하고 있기 때문에 교통방재 실현을 위해서는 체계적 방재도로 선정이 시급하다. 특히, 재난시 방재도로의 교통정보 수집을 위한 민,관,공사의 다차원적 협조가 필요하고, 정부와 연구기관의 노력으로 방재도로의 기능성을 높여 임의의 재난에 피해를 최소화 할 수 있어야 할 것이다.

스테레오 카메라 측정을 이용한 매립장 체적 감시 시스템

조성윤, 이영대 | 한국컴퓨터정보학회 2013년도 제48차 하계학술발표논문집 21권2호 (v.2013 / no.7 / pp.5-8 / 2013)

이 논문에서는 쓰레기 매립의 표준화 및 고도화를 위한 일환으로 쓰레기 체적을 주기적으로 계산하는 알고리즘을 제시하였다. 카메라 캘리브레이션 이후에 대상체의 표면에 대한 포인트 클라우드(point cloud) 데이타를 얻을 수 있었으며 이것을 제시된 체적 계산 알고리즘의 입력이 된다. 균일(uniform)

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이 논문에서는 쓰레기 매립의 표준화 및 고도화를 위한 일환으로 쓰레기 체적을 주기적으로 계산하는 알고리즘을 제시하였다. 카메라 캘리브레이션 이후에 대상체의 표면에 대한 포인트 클라우드(point cloud) 데이타를 얻을 수 있었으며 이것을 제시된 체적 계산 알고리즘의 입력이 된다. 균일(uniform) 및 비균일 삼각 격자 기반 메싱(non-uniform triangular meshing) 방법에 기초한 두 개의 체적 계산 알고리즘을 제안하였으며 알고리즘의 타당성을 시뮬레이션과 실제 현장 실험을 통해 입증하였다.

전기화학적증착법(ECD)을 사용해 형성한 성장 시간에 따른 Al-doped ZnO 나노결정체의 구조적 성질 및 광학적 성질

추동훈, 김기현, 노영수, 이대욱, 김태환 | 한국진공학회 2013년도 제 45회 하계 정기학술대회 초록집 (v.2013 / no.8 / pp.262.2-262.2 / 2013)

ZnO는 광학적 및 전기적 성질의 여러 가지 장점 때문에 메모리, 나노발전기, 트랜지스터, 태양전지, 광탐지기 및 레이저와 같은 전자소자 및 광소자로 여러 분야에서 다양하게 사용되고 있다. Al이 도핑된 ZnO 나노결정체를 전기화학적 증착법을 이용하여 형성하고, 형성시간의 변화에 따른 구조적 및 광학적

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ZnO는 광학적 및 전기적 성질의 여러 가지 장점 때문에 메모리, 나노발전기, 트랜지스터, 태양전지, 광탐지기 및 레이저와 같은 전자소자 및 광소자로 여러 분야에서 다양하게 사용되고 있다. Al이 도핑된 ZnO 나노결정체를 전기화학적 증착법을 이용하여 형성하고, 형성시간의 변화에 따른 구조적 및 광학적 성질을 관찰했다. ITO로 코팅된 유리 기판에 전기화학증착법을 이용해 Al 도핑된 ZnO를 성장시켰다. Sputtering, pulsed laser vapor deposition, 화학기상증착, atomic layer epitaxy, 전자빔증발법 등으로 Al 도핑된 ZnO 나노구조를 형성할 수 있지만, 본 연구에서는 간단한 공정과정, 저온증착, 고속, 저가의 특성 등으로 경제적인 면에서 효율적인 전기화학증착법을 이용했다. 반복실험을 통하여 Al의 도핑 농도는 Zn와 Al의 비율이 98:2이 되도록, ITO 양극과 Pt 음극의 전위차가 -2.25 V가 되도록 실험조건을 고정했고, 성장시간을 각각 1분, 5분, 10분으로 변화하였다. 주사전자현미경 사진을 보면 Al 도핑된 ZnO는 성장 시간이 증가함에 따라 나노구조의 직경이 커지는 것을 알 수 있다. 광루미네센스 측정 결과는 산소 공핍의 증가로 보이는 500~600 nm대의 파장에서 나타난 피크의 위치가 에너지가 큰 쪽으로 증가했다. 위 결과로부터 성장 시간에 따른 Al 도핑된 ZnO의 구조적 및 광학적 특성변화를 관찰했고, 이 연구 결과는 Al 도핑된 ZnO 나노구조 기반 전자소자 및 광소자에 응용 가능성을 보여주고 있다.

몽골 해운 교육의 현실적 추진 방향에 관한 연구

Yun, Dae-Geun, Sin, Ho-Sik | 한국항해항만학회 2013년도 춘계학술대회 (v.2013 / no.6 / pp.231-232 / 2013)

몽골은 중국과 러시아에 의해 바다를 접할 수 없는 내륙국가로서, 지정학적의 한계를 가지고 있어 해운산업의 역할이 매우 약한 나라이다. 하지만 해상운송의 중요성과 내륙 복합운송의 증대로 인하여 몽골에서도 해운의 중요성이 부각되고 있다. 이러한 상황에 중요한 것이 해운 인적 자원 양성이라고 판단된다.

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몽골은 중국과 러시아에 의해 바다를 접할 수 없는 내륙국가로서, 지정학적의 한계를 가지고 있어 해운산업의 역할이 매우 약한 나라이다. 하지만 해상운송의 중요성과 내륙 복합운송의 증대로 인하여 몽골에서도 해운의 중요성이 부각되고 있다. 이러한 상황에 중요한 것이 해운 인적 자원 양성이라고 판단된다.

종관기상에 따른 강수의 관측과 특성에 관한 연구

박종길, 정우식, 김은별, 천은지 | 한국방재학회 2014년도 정기 학술발표대회 (v.2014 / no.2 / pp.375-375 / 2014)

기후변화에 따라서 강수량과 강수의 강도는 지속적으로 증가하여 집중호우의 빈도가 높아질 것으로 예측되고 있으며, 이러한 집중호우에 의한 피해를 최소화하기 위해서는 강수에 대한 지속적인 관측 및 그에 대한 특성 분석이 필요하다. 이에 따라 본 연구에서는 집중호우 사례에 대한 종관기상상태에 따라 그 원인을 분

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기후변화에 따라서 강수량과 강수의 강도는 지속적으로 증가하여 집중호우의 빈도가 높아질 것으로 예측되고 있으며, 이러한 집중호우에 의한 피해를 최소화하기 위해서는 강수에 대한 지속적인 관측 및 그에 대한 특성 분석이 필요하다. 이에 따라 본 연구에서는 집중호우 사례에 대한 종관기상상태에 따라 그 원인을 분류하고, 분류된 사례의 강수율, 수직낙하 속도, 강수입자의 크기 등에 대한 제반 특성을 분석하였다. 본 연구에서 경상남도 김해시를 대상으로 2011년 여름철 기간 동안(총 34일의 강수일) AWS와 2DVD를 이용하여 관측을 수행하였다. 집중호우 사례는 장마전선, 태풍, 기압골, 고기압 가장자리의 4가지 원인으로 분류되었다. 각 사례에 대한 대표사례일의 강수율, 빗방울 크기분포, 강수의 침강속도, 강수직경에 따른 입자의 편평도를 분석해본 결과, 강수 입자크기와 입자에 따른 수직 낙하 속도와 편평도의 변화를 알 수 있었다. 또한 각 시간대의 강수율은 평균 강수율이 아닌 수 차례의 peak를 나타내었는데 이를 10분 단위로 세분화 시켜 분석해본 결과, 시간 강수량의 강수율과 강수입자의 분포와 거의 유사하게 나타났으며, 10분 간격으로 나타나는 강수량의 편차가 크게 나타나는 것을 알 수 있었다. 이는 강수에 의한 재해는 짧은 시간에 많은 비가 내리는 것이기 때문에 기후변화에 따른 집중호우의 특성을 밝히고, 대비책을 수립하는데 기초자료를 제시해 줄 것으로 판단된다. 향후 보다 장기적인 관측을 통해 많은 사례에 대한 분석이 이루어진다면 기후변화로 인해 변화하고 있는 강수의 특성에 대해 이해할 수 있을 것이며, 향후 집중 호우 등에 의한 재해를 예방하는데 중요한 기초자료로 활용될 수 있을 것이다.

해양 환경조건을 고려한 긴장계류장치의 신뢰성 기반 강건설계 최적화

오영철, 강병모, 고재용 | 한국항해항만학회 2013년도 춘계학술대회 (v.2013 / no.6 / pp.120-121 / 2013)

최근, 우리나라는 소득수준 향상, 교통여건 개선 등으로 여가활동 및 관광형태가 다양화되면서 육지 레저에서 해양 레저 활동이 증가하고 있다. 하지만 이런 여가활동을 수용할 수 있는 기반시설을 구축하고 있지만, 아직도 부족한 실정이다. 또한, 시설 구축 시 도입되는 기자재는 거의 전량을 수입하고 있으며 특히

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최근, 우리나라는 소득수준 향상, 교통여건 개선 등으로 여가활동 및 관광형태가 다양화되면서 육지 레저에서 해양 레저 활동이 증가하고 있다. 하지만 이런 여가활동을 수용할 수 있는 기반시설을 구축하고 있지만, 아직도 부족한 실정이다. 또한, 시설 구축 시 도입되는 기자재는 거의 전량을 수입하고 있으며 특히 마리나 구축 시 사용되는 긴장계류장치도 비슷한 상황이다. 따라서 이 논문에서는 에틸렌 프로필렌 고무와 아라미드섬유 등 재료를 이용하여 긴장계류장치를 구성하고 신뢰성 기반 강건 설계를 통해 국내 해양환경에 적합한 제품을 개발하여 해양레저문화 활성화와 산업발전에 이바지할 수 있을 거라고 생각한다.

유도 결합 플라즈마에서의 안테나 권선 수에 따른 플라즈마 특성 연구

문준현, 정진욱 | 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집 (v.2013 / no.2 / pp.585-585 / 2013)

유도 결합 플라즈마는 비교적 간단한 방전 구조와 고밀도 플라즈마 생성에 유리하기 때문에 산업 플라즈마 공정 장비로 널리 사용되고 있으며, 안테나에 의한 전력 전달 특성 및 방전 특성이 공정 결과에 큰 영향을 주게 된다. 이러한 유도 결합 플라즈마는 변압기 모델을 통하여 전력 전달 특성을 해석할 수 있으며

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유도 결합 플라즈마는 비교적 간단한 방전 구조와 고밀도 플라즈마 생성에 유리하기 때문에 산업 플라즈마 공정 장비로 널리 사용되고 있으며, 안테나에 의한 전력 전달 특성 및 방전 특성이 공정 결과에 큰 영향을 주게 된다. 이러한 유도 결합 플라즈마는 변압기 모델을 통하여 전력 전달 특성을 해석할 수 있으며, 안테나의 감은 수가 증가할수록 플라즈마로의 전력 전달 효율 및 플라즈마 밀도 상승이 기대된다. 반면에, 안테나 양단 또는 챔버 벽면과의 원치 않는 용량성 결합에 의하여, 실제로 안테나 감은 수가 증가함에 따라서 플라즈마로의 전력 전달 효율 및 방전 특성이 향상되지 않을 수도 있다. 본 연구는 이러한 안테나 감은 수 효과에 의한 전력 전달 효율 및 플라즈마 변수 변화에 대한 내용을 다루고 있으며, 플라즈마 변수 진단을 통하여 방전 특성을 연구하였다. 용량성결합을 최소화하기 위하여, 평형 전력 안테나를 사용하여 실험을 진행하였으며, 평형 전력이 인가되지 않은 안테나 구조에서의 안테나 감은 수에 따른 방전 특성과 결과를 비교하였다.

SBAS 활용을 위한 해양 DGPS국 설계

박상현, 조득재, 서기열 | 한국항해항만학회 2014년도 춘계학술대회 (v.2014 / no.6 / pp.105-106 / 2014)

대한민국은 2022년부터 위성을 통한 GPS 측위 보강시스템인 SBAS의 본격 서비스를 목표로 연구개발을 진행 중에 있으며, 기존에 운용되고 있는 전국망 해양 DGPS국을 SBAS 기준국으로 활용하기 위한 방안을 모색하고 있다. 이런 이유에서 본 논문은 해양 DGPS국의 효과적인 공동 활용방안 제안을 위

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대한민국은 2022년부터 위성을 통한 GPS 측위 보강시스템인 SBAS의 본격 서비스를 목표로 연구개발을 진행 중에 있으며, 기존에 운용되고 있는 전국망 해양 DGPS국을 SBAS 기준국으로 활용하기 위한 방안을 모색하고 있다. 이런 이유에서 본 논문은 해양 DGPS국의 효과적인 공동 활용방안 제안을 위하여 SBAS 기준국의 요구기능과 성능을 분석하고, 해양 DGPS국과 비교하였다. SBAS는 관련 장비와 시설에 대한 검증이 엄격하고, 인증이 필수적이다. 따라서 본 논문에서는 해양 DGPS국이 SBAS 기준국으로써 SBAS 운영에 필요한 성능을 만족시키면서 해양 DGPS의 본래 기능과 성능, 표준 준수는 물론이고, 위성항법 시스템의 다원화에 유연하게 대응할 수 있도록 DGPS국의 구조를 설계하였다.

기후변화 리스크 관리를 위한 다차원적 평가 프레임워크 구축 및 방재부문 시범적용

강정은, 장선주, 송슬기, 채여라, 윤동근 | 한국방재학회 2014년도 정기 학술발표대회 (v.2014 / no.2 / pp.198-198 / 2014)

최근 기후변화로 인하여 재해의 빈도 및 강도가 급격하게 증가하는 등 기후변화 리스크가 증대되고 있다. 뿐만 아니라 사회 경제적 리스크와 중첩되어 매우 극단적인 양상을 보이는 등, 재난관리에 있어 기후변화 리스크를 체계적으로 관리하는 것이 핵심과제로 떠오르고 있다. 이에 따라 호주 및 영국을 비롯한 국가에

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최근 기후변화로 인하여 재해의 빈도 및 강도가 급격하게 증가하는 등 기후변화 리스크가 증대되고 있다. 뿐만 아니라 사회 경제적 리스크와 중첩되어 매우 극단적인 양상을 보이는 등, 재난관리에 있어 기후변화 리스크를 체계적으로 관리하는 것이 핵심과제로 떠오르고 있다. 이에 따라 호주 및 영국을 비롯한 국가에서 기후변화 리스크 관리프로세스를 마련 제시하고 있다. 기후변화 리스크는 리스크 요인별 적응주체별로 주체가 겪는 리스크 영향이 달라지기 때문에, 기후변화 리스크 관리프로세스 상에 기후변화 리스크 요인과 적응주체, 그리고 그 영향을 반영하여 다차원적으로 접근할 필요가 있다. 그러나 기존에 제시된 리스크 관리프로세스는 기후변화에 따른 요인별 적응주체별 기후변화 영향을 파악하고 평가하는 측면에서 단편적으로 접근하고 있다. 또 리스크 평가와 리스크관리를 위한 정책대안을 평가하고 선택하는 단계와의 연계성이 떨어져 실질적인 역할을 기대하기 어려운 측면이 있다. 따라서 본 연구에서는 본 연구에서는 기후변화에 따른 직 간접적 리스크를 구분하고 리스크 적응주체의 특성을 반영할 수 있는 다차원적 리스크 관리 프레임워크를 구축하였다. 그리고 이를 지자체 단위의 방재부문에 적용하여 실제 적용가능성을 검토하였다.

위치기반 지역 정보 시스템에 기반 앱용 고객 관리 시스템 구축 방법

이상엽 | 한국컴퓨터정보학회 2013도 제47차 동계학술대회 논문집 21권1호 (v.2013 / no.1 / pp.273-276 / 2013)

스마트 폰과 스마트 패드등 스마트 디바이스를 이용한 다양한 앱 응용 프로그램이 배포 되고 있다. 특히 위치 정보를 이용한 다양한 앱용 응용 프로그램이 많이 개발 되고 있다. 본 논문에서는 위치 기반 지역 정보 시스템에 기반된 스마트폰용 고객 마일리지 관리 시스템 구축 방법을 소개 한다. 제안 시스템은 위

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스마트 폰과 스마트 패드등 스마트 디바이스를 이용한 다양한 앱 응용 프로그램이 배포 되고 있다. 특히 위치 정보를 이용한 다양한 앱용 응용 프로그램이 많이 개발 되고 있다. 본 논문에서는 위치 기반 지역 정보 시스템에 기반된 스마트폰용 고객 마일리지 관리 시스템 구축 방법을 소개 한다. 제안 시스템은 위치 기반으로 지역에 특정 상점을 찾고 해당 상점에 방문하여 이용하면 해당 상점에서 마일리지 또는 쿠폰 등을 단순히 전화 번호 색인을 이용하여 입력하고 해당 정보와 연관하여 지속적인 고객관리를 하는 전체 구조 이다. 제안 시스템을 이용하면 상점 운영자는 종이 또는 프라스틱 카드를 이용하여 고객 관리를 할 필요가 없으며, 고객은 다양한 상점에 다양한 마일리지와 쿠폰을 관리하기 위한 카드를 보관할 필요가 없어진다. 본 논문에서는 위치기반 지역 정보 시스템을 구축하고 해당 지역 정보 시스템과 고객관리를 연결하여 효율적으로 고객을 관리하는 전체 시스템을 설명 한다.

자화 유도 결합 플라즈마의 산화물 건식 식각 특성에 관한 연구

정희운, 김혁, 이우현, 김지원, 황기웅 | 한국진공학회 2013년도 제 45회 하계 정기학술대회 초록집 (v.2013 / no.8 / pp.230-230 / 2013)

플라즈마를 활용한 미세 패턴의 건식 식각은 반도체 소자 공정에 있어서 가장 중요한 기술 중 하나이다. 한편, 매년 발행되는 ITRS Roadmap 에 따르면 DRAM 의 1/2 pitch 는 감소하는 동시에 Contact A/R (Aspect Ratio) 는 증가하고 있다. 이러한 추세 속에서 기존의 공

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플라즈마를 활용한 미세 패턴의 건식 식각은 반도체 소자 공정에 있어서 가장 중요한 기술 중 하나이다. 한편, 매년 발행되는 ITRS Roadmap 에 따르면 DRAM 의 1/2 pitch 는 감소하는 동시에 Contact A/R (Aspect Ratio) 는 증가하고 있다. 이러한 추세 속에서 기존의 공정을 그대로 활용할 경우 식각물의 프로파일 왜곡 혹은 휨 현상이 발생하고 식각 속도가 저하되며 이러한 특성들이 결과적으로는 생산성의 저하로 이어질 수 있다. 이러한 현상을 최소화하기 위해서는 무엇보다 독립된 plasma parameter 들이 식각물의 프로파일 혹은 식각 속도 등에 어떠한 영향을 주는 지에 대한 학문적 이해가 필요하다. 본 논문에서는 최소 CD (Critical Dimenstion) 100nm, 최대 A/R 30 인 HARC (High Aspect Ration Contact hole) 의 식각 특성이 plasma parameter 에 따라 어떻게 변하는지 확인해 보고자 한다. 산화물의 식각은 대표적인 high density plasma source 중의 하나인 ICP에서 진행하였으며 기존에 알려진 plasma parameter 에 더하여 자장의 인가가 산화물의 식각 특성에 어떠한 영향을 주는지 살펴보고자 전자석을 ICP 에 추가로 설치하여 실험을 진행하였다. 결과적으로, plasma parameter 에 따른 혹은 자장의 세기 변화에 따른 산화물의 식각 실험을 플라즈마 진단 실험과 병행하여 진행함으로써 다양한 인자에 따른 산화물의 식각 메커니즘을 정확하게 이해하고자 하였다. 실험 내용을 요약하면 다음과 같다. 먼저, 전자석의 전류 인가 조건에 따라 축 방향 혹은 반경 방향으로의 자장의 분포가 달라질 수 있음을 확인하였고 플라즈마 진단 결과 축 방향 혹은 반경 방향으로의 자장이 증가하였을 때 고밀도의 플라즈마가 형성될 수 있음은 물론 반경 방향으로의 플라즈마 밀도의 균일도가 향상됨을 확인할 수 있었다. 또한 ICP 조건에서 바이어스 주파수, 압력, 바이어스 파워, 소스 파워, 가스 유량 등의 plasma parameter 가 산화물의 식각 특성에 미치는 영향 및 메커니즘을 규명하였고 이 과정을 통해 최적화된 프로파일을 바탕으로 축 방향 혹은 반경 방향으로 증가하는 자장을 인가하였을 때 (M-ICP 혹은 자화 유도 결합 플라즈마) ICP 대비 산화물의 식각 속도가 증가함은 물론 PR-to-oxide 의 선택비가 개선될 수 있음을 확인할 수 있었다. 자장의 인가에 따른 산화물의 정확한 식각 메커니즘은 향후의 실험 진행을 통해 이해하고 이를 통해 궁극적으로는 산화물의 식각 공정이 나아가야 할 올바른 방향을 제시하고자 한다.

Screw Vacuum Pump의 Screw 리드의 변화에 따른 성능평가 연구

강상백, 노영호, 유재경 | 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집 (v.2014 / no.2 / pp.153-153 / 2014)

건식 진공펌프(dry vacuum pump)는 기계적 저진공펌프 중 펌프 내부의 기체 배기통로에 오일을 전혀 사용하지 않는 펌프의 통칭으로써, 대개 비접촉형으로 여러 형태의 회전자가 고속으로 회전하면서 흡기구로부터 들어온 기체를 압축해 배기를 한다. 비접촉형에는 루츠(roots)형, 클로(claw)형,

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건식 진공펌프(dry vacuum pump)는 기계적 저진공펌프 중 펌프 내부의 기체 배기통로에 오일을 전혀 사용하지 않는 펌프의 통칭으로써, 대개 비접촉형으로 여러 형태의 회전자가 고속으로 회전하면서 흡기구로부터 들어온 기체를 압축해 배기를 한다. 비접촉형에는 루츠(roots)형, 클로(claw)형, 스크류(screw)형, 스크롤(scroll)형 등이 있다. 그 중 스크류형 펌프는 큰 배기속도를 갖는 펌프의 설계에 유리하고 높은 운용온도가 가능하여 다수공정에 쉽게 적용할 수 있는 장점이 있다. 그러나 1단 펌프 구성을 갖게 됨에 따라 루츠형 대비 높은 소비전력 특성을 보이는 약점을 가지고 있다. 본 논문에서는 건식 진공펌프 중의 하나인 스크류형 진공펌프에 대하여, 기본적인 1단 펌프 구성에 스크류 리드(lead)의 변화를 주어 기존의 똑같은 리드의 스크류 진공펌프에 대한 소비전력 및 배기구 온도 등 스크류 형상에 대한 성능평가 연구를 진행 하고자 한다.

아무르불가사리의 영상복원을 이용한 연구

김강, 전영철 | 한국컴퓨터정보학회 2013년도 제48차 하계학술발표논문집 21권2호 (v.2013 / no.7 / pp.307-310 / 2013)

아무르불가사리에 기인한 환경적, 경제적 피해는 해마다 증가되고 있습니다. 우리나라 남해와 동해 바다에 널려 있는 불가사리들이 최근 서해안에서도 급속히 늘어나고 있습니다. 특히 러시아 해역에 서식하는 아무르 불가사리의 개체수가 급증해 어장을 황폐화 시키고 있습니다. 이로 인하여 엄청난 번식력과 포식력을 지

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아무르불가사리에 기인한 환경적, 경제적 피해는 해마다 증가되고 있습니다. 우리나라 남해와 동해 바다에 널려 있는 불가사리들이 최근 서해안에서도 급속히 늘어나고 있습니다. 특히 러시아 해역에 서식하는 아무르 불가사리의 개체수가 급증해 어장을 황폐화 시키고 있습니다. 이로 인하여 엄청난 번식력과 포식력을 지닌 아무르불가사리가 살아있는 조개류를 먹어치우고 있어서 어민들의 피해가 막심합니다. 이 논문은 변형되어진 아무르불가사리의 구조적 특징과 방사대칭 특성을 이용하여 불가사리 영상을 복원하는 복원기법으로 불가사리의 인식률을 높게 하여 불가사리 퇴치에 많은 도움이 될 것으로 기대합니다.

노인의료복지시설 요양보호사의 자기효능감과 직무만족의 인식에 관한 연구

조우홍, 박천규, 손명동 | 한국컴퓨터정보학회 2013도 제47차 동계학술대회 논문집 21권1호 (v.2013 / no.1 / pp.127-128 / 2013)

이 연구는 노인의료복지시설 소속 요양보호사들을 대상으로 자기효능감과 직무만족에 대한 요양보호사들의 주관적 인식의 차이를 분석해 보고자 하였다. 분석결과 요양보호사들이 근무하는 노인의료복지시설 유형에 따른 인식의 차이는 없었지만 전체적으로 요양보호사들의 자기효능감과 직무만족의 충족이 노인의료서비스 제공에

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이 연구는 노인의료복지시설 소속 요양보호사들을 대상으로 자기효능감과 직무만족에 대한 요양보호사들의 주관적 인식의 차이를 분석해 보고자 하였다. 분석결과 요양보호사들이 근무하는 노인의료복지시설 유형에 따른 인식의 차이는 없었지만 전체적으로 요양보호사들의 자기효능감과 직무만족의 충족이 노인의료서비스 제공에 있어서 중요하다는 것을 강조하였다. 따라서 노인의료복지시설 소속 요양보호사들이 노인들에게 의료서비스 등을 제공함에 있어서 직무만족과 동시에 지속적으로 높은 수준의 자기효능감을 유지할 수 있도록 하는 인적자원관리전략이 필요함을 시사하였다는데 그 의의가 있다.

복층 저소음 도로 포장의 소음 저감 효과

강햇빛, 이수형, 조신행, 백인규, 박기선, 김낙석 | 한국방재학회 2014년도 정기 학술발표대회 (v.2014 / no.2 / pp.137-137 / 2014)

도로 교통에서 발생하는 소음은 타이어와 포장 사이의 마찰, 엔진, 에어펌핑 음 등이 주원인이다. 저소음 도로포장 공법은 타이어와 도로표면에서 발생하는 소음원을 저감시키는 기술로 교통소음으로 인한 민원, 불편 등을 효과적으로 해소할 수 있는 포장 공법이다. 본 연구에서는 복층 저소음 아스팔트 포장 기술에

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도로 교통에서 발생하는 소음은 타이어와 포장 사이의 마찰, 엔진, 에어펌핑 음 등이 주원인이다. 저소음 도로포장 공법은 타이어와 도로표면에서 발생하는 소음원을 저감시키는 기술로 교통소음으로 인한 민원, 불편 등을 효과적으로 해소할 수 있는 포장 공법이다. 본 연구에서는 복층 저소음 아스팔트 포장 기술에 대한 성능 및 경제성 분석을 실시하였다. 본 연구의 아스팔트 포장 공법은 상부층을 작은 골재로 포장을 하여 타이어와 도로 표면사이의 마찰을 감소시켰으며, 하부층에는 굵은 골재를 두어 에어 펌핑 음으로 인한 공명음의 발생을 감소시켰다. 저소음 포장이 완료된 도로는 일반 아스팔트 콘크리트 포장에 비해 약 9dB의 소음이 저감되는 효과를 보였으며 시간이 경과된 후에도 소음 저감 효과가 지속되는 것을 확인 할 수 있었다. 경제성 분석은 방음 벽, 방음 터널의 설치비용을 고려하여 동일 구간 설치시 발생하는 비용을 비교하였다.

Eu가 도핑된 CaMoO4 적색 형광체 박막의 특성

김준한, 조신호 | 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집 (v.2015 / no.8 / pp.184.2-184.2 / 2015)

최근에 적색 발광체를 개발하고자 무기물 모체에 다양한 활성제 이온을 주입하는 연구가 상당한 관심을 끌고 있다. 본 연구에서는 발광 효율이 높은 적색 형광체 박막을 제조하고자 활성제 이온 $Eu^{3+}$ 가 도핑된 $CaMoO_4:Eu^{3+}$ 를 라디오파 마그네트론 스퍼터링을 사용하여 증착하였

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최근에 적색 발광체를 개발하고자 무기물 모체에 다양한 활성제 이온을 주입하는 연구가 상당한 관심을 끌고 있다. 본 연구에서는 발광 효율이 높은 적색 형광체 박막을 제조하고자 활성제 이온 $Eu^{3+}$ 가 도핑된 $CaMoO_4:Eu^{3+}$ 를 라디오파 마그네트론 스퍼터링을 사용하여 증착하였다. 두 종류의 박막을 성장하였는데, 한 종류는 증착 온도 ( $100-400^{ circ}C$ )를 달리하여 성장한 후 $570^{ circ}C$ 에서 열처리를 실시하였고, 다른 한 종류는 동일한 온도 $300^{ circ}C$ 에서 증착한 후에 열처리 온도(420, 470, 520, $570^{ circ}C$ )를 변화시켜 제조하였다. 증착 온도와 열처리 온도에 따른 적색 형광체 박막의 흡광과 발광 특성, 결정 구조, 입자의 크기와 표면 형상, 밴드갭 에너지의 크기를 조사하였다. 열처리 온도에 따른 적색 형광체 박막의 경우에, 파장 308 nm로 여기 시켰을 때 발광 세기가 가장 강한 616 nm의 주 피크를 방출하는 적색 스펙트럼이 나타났으며, 열처리 온도가 증가함에 따라 적색 발광 스펙트럼의 세기는 증가하는 경향을 보였다. 증착 온도 변화에 따른 형광체 박막의 경우에, 272 nm로 여기 시켰을 때 614 nm의 적색 발광 피크를 확인 할 수 있었다. 모든 박막의 결정 구조는 정방정계이었다.